BGAバンプ形状計測

• BGAのバンプ高さ、直径、体積、コプラナリティーを計測。
• 他装置では難しいバンプ全数の一括計測が可能。
• 専用機カスタマイズでは、ガーバーデータ対応、統計情報・ログ記録、自動アライメント機能の搭載が可能。