セラミック基板の反り(平坦度)の検査

• 計測検査が困難なセラミック基板等の反りや平坦度合いを検査することが可能です。
• プラスチック、オーガニック等パッケージにも対応します。
• パーケージ反り・平坦度などの3次元検査と合わせて、汚れ・傷などの2次元検査も同時に行う事が可能。
• 基板の平坦度を数値化されたデータで管理することで安定した品質を確保します。