透明電極膜パターン測定検査

• 高速ラインスキャンにより指定面領域の高速検査が可能に。
• 又は、エリアカメラにより指定場所をオンラインにて検査。
• 透明電極膜の有無、異物、パターン寸法検査を高精度に計測・検査。
• 高精度変位センサによるオートフォーカス機能。