基本機能
| 観察機能 | ２D濃淡画像観察、３D高さ画像観察、３Dレンダリング画像観察（×１～×５） |
|---|---|
| 2D計測機能 | 距離計測、面積計測 |
| 3D計測機能 | プロファイリング ： 最大高さ計測、平均高さ計測、一点高さ計測、段差計測、段差角度計測 |
| 体積計測、3D基準面指定 | |
| フィルタ・マスク機能 | メディアンフィルタ ： 3×3、5×5 |
| マスク ： 円形、四角形 |
仕様・バリエーション
分解能を3種類からお選びいただけます。
| 広視野タイプ | 標準タイプ | 高分解能タイプ | |
|---|---|---|---|
| 測定視野（スキャン幅） | 29mm | 14.5mm | 7.3mm |
| 推奨測定段差 | 2mm | 1mm | 0.5mm |
| 最大測定可能段差 | 10mm | 5mm | 2.5mm |
| Z軸ストローク（フォーカス） | 1軸/2軸/2軸ワイド仕様：手動50ｍｍ 3軸ワイド仕様：電動35ｍｍ（ 高分解能タイプ） |
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| ワークディスタンス | 17.8mm | 16mm | 35mm |
| 測定分解能 | X軸：19μm Y軸：20μm Z軸：1.68μm |
X軸：9.5μm Y軸：10μm Z軸：0.84μm |
X軸：4μm Y軸：4.75μm Z軸：0.42μm |
測定範囲を3種類からお選びいただけます。
| 1軸仕様 | 2軸仕様 | 2軸ワイド仕様 | 3軸ワイド仕様 | |
|---|---|---|---|---|
| 測定範囲（X×Y） | 広視野：75×29mm 標 準：75×14.5mm |
広視野：75×74mm 標 準：75×60mm |
広視野：125×119mm 標 準：125×105mm |
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| 装置寸法 ( W × D × H 、ケーブル除く) |
320×250×375㎜ | 320×255×405㎜ | 400×350×405mm | |
| P C ・モニター | OS:Windows7 Professional、グラフィックボードDirectX 対応 | |||
設置例
検査対象別ページ（カスタム代表例）
