膜厚分布計測検査装置
液晶パネルや半導体製造における、性能・品質に大きな影響を及ぼす膜塗布の工程では、均一性が重要視されます。
従来機では一括計測が難しく、任意の1点を計測する方法でした。
3D-Eyeスキャナーでは、光切断法により指定した全領域を高速かつ高精度に計測できます。
計測・検査項目
塗布量、膜厚分布の計測および統計計算を行います。
3Dレンダリング画像により塗布状態を容易に観察できます。また、プロファイリングにより厚みを正確に計測でき、基準面指定により、任意領域の正確な体積計測が可能です。
主な機能
・統計情報/ログ記録
・自動アライメント
・基準面(厚さ)指定
検査対象別ページ（カスタム代表例）
※カスタマイズには、対象ワークの事前確認が必要となりますので、詳しくはお問い合わせください。
