4模様検査と寸法測定・高さデータへの展開

第4図はコイン表面の打刻パターン形状です。3次元測定情報により生成されたデータの特徴は、模様検査と寸法測定を同時に行える点です。従来の検査方式では模様パターンの良/不良を見る2次元画像検査と、打刻の深さを測定する高さ測定（接触、非接触スポット測定）の併用が一般的でした。3次元測定においてはそのすべてが高精度の高さデータとなっているため、必要によってはスポット測定ではなく全ての位置における高さ測定を同時に行えます。

またこの原理でエリア内全ての位置を高さ測定することで、フィルム・鉄板などの表面の平面検査を行えます。表面の平面データを生成し3次元展開を行うと、穴・へこみ・傷などの形状が再現されます。